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氯化氫，是半導(dǎo)體制作的“關(guān)鍵特氣”，極其微小的雜質(zhì)就能讓晶圓留下致命缺陷。以往氯化氫氣體提純技術(shù)被極個(gè)別國(guó)家攥在手里，成了行業(yè)里多年難以破解的難題。倪峰，湖北玖恩智能科技有限公司總工程師。多年前在國(guó)外企業(yè)時(shí)，他總被攔在核心設(shè)備調(diào)試區(qū)外，這份“看得見(jiàn)差距卻摸不到關(guān)鍵”的憋屈，讓他決心造出中國(guó)自己的氯化氫特氣提純?cè)O(shè)備。

氯化氫氣體提純，關(guān)鍵在于材料的配方及加工。這便需要通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)逐步摸索。那段時(shí)間，倪峰實(shí)驗(yàn)室的燈光從未熄滅，團(tuán)隊(duì)成員的目光也始終定格在檢測(cè)屏幕上，倉(cāng)庫(kù)早已被實(shí)驗(yàn)廢料堆滿(mǎn)。經(jīng)過(guò)三百多次配方調(diào)整，檢測(cè)屏上的雜質(zhì)值穩(wěn)定停在了15個(gè)ppb以下，所有堅(jiān)持有了答案。如今湖北玖恩的氯化氫氣體純化設(shè)備不僅通過(guò)了嚴(yán)苛的穩(wěn)定性測(cè)試，更是進(jìn)駐了眾多國(guó)內(nèi)頂.尖半導(dǎo)體工廠，解決了行業(yè)公認(rèn)的世界性難題，讓中國(guó)芯片用上“中國(guó)造”的超高純氯化氫特氣。這不僅填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，更達(dá)到了世界水平。

光刻機(jī)的使用對(duì)氣體環(huán)境要求是極致的，需要用到超高純無(wú)油壓縮空氣-XCDA氣體，為光刻機(jī)的鏡頭進(jìn)行保護(hù)，同樣是玖恩必要突破的難關(guān)。XCDA氣體是光刻機(jī)鏡頭的“保護(hù)神”，12個(gè)9的純度標(biāo)準(zhǔn)，特別是酸、堿等雜質(zhì)，要達(dá)到10個(gè)ppt的水平，相當(dāng)于在一百座標(biāo)準(zhǔn)體育館里裝滿(mǎn)白色乒乓球，而這里面只允許存在一個(gè)黃色乒乓球。團(tuán)隊(duì)把“精”做到極致，就要把吸附材料孔徑打磨到頭發(fā)絲的萬(wàn)分之一，使米粒大小的一顆吸附材料有巨大的內(nèi)表面積。這樣的標(biāo)準(zhǔn)，曾被國(guó)外企業(yè)筑成密不透風(fēng)的技術(shù)堡壘，連認(rèn)證的門(mén)檻都對(duì)國(guó)產(chǎn)設(shè)備豎起高墻。

解決了光刻機(jī)鏡頭的保護(hù)問(wèn)題，玖恩又將目光投向了“高溫考驗(yàn)”。當(dāng)國(guó)內(nèi)設(shè)備還停留在500℃工況下的氫氣去甲烷的純化時(shí)，玖恩卻已快人一步，做到600℃的極高溫去甲烷氫氣提純技術(shù)，這不僅是數(shù)字上的跨越，更是中國(guó)半導(dǎo)體氫氣純化技術(shù)達(dá)到世界最高難度、最高標(biāo)準(zhǔn)的重要一步。

芯片的制造，同樣離不開(kāi)大宗氣體的保護(hù)。大流量超高純度氣體設(shè)備的品質(zhì)和穩(wěn)定，是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)技術(shù)升級(jí)、芯片產(chǎn)能提升的關(guān)鍵。如今的玖恩，氮?dú)饧兓饕褢{國(guó)內(nèi)最大單體流量每小時(shí)兩萬(wàn)立方，品質(zhì)達(dá)到“十個(gè)九”的純度站上世界前沿。這臺(tái)高穩(wěn)定性設(shè)備，為中國(guó)芯片筑起了靠譜的“屏障”。技術(shù)攻堅(jiān)的路上，每攻克一道難關(guān)都是向自主可控靠近，這背后始終有產(chǎn)業(yè)力量的托舉。

從氣體純化的世界難題，到領(lǐng)先世界水平，玖恩的腳步從未停歇。那些在設(shè)備上精益求精的調(diào)試、為達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)反復(fù)打磨的配方，都藏著“不棄微末”的執(zhí)著。從打破國(guó)外封鎖，到領(lǐng)先世界水平的純度，這份“久久為功”的堅(jiān)守，始終呼應(yīng)著“制造一流純化設(shè)備”的初心。未來(lái)，玖恩的設(shè)備將以全國(guó)為基輻射全球，成為推動(dòng)行業(yè)發(fā)展的核心力量，引領(lǐng)氣體純化技術(shù)邁向新高度，在更多核心領(lǐng)域，續(xù)寫(xiě)突破的故事。