EGS22 XCDA純化器

可選流量范圍 10-20000CMH

? 產(chǎn)品介紹

玖恩智能XCDA EGS22系列純化器由采用裝填有定制物料的吸附桶在純化和再生兩個(gè)模式之間交替工作，實(shí)現(xiàn)24H不間斷供氣，具備完善的報(bào)警、聯(lián)鎖、數(shù)據(jù)記錄功能，可實(shí)現(xiàn)無(wú)人看守自動(dòng)運(yùn)行，可自動(dòng)切換再生，再生是通過(guò)純化后的工藝氣體進(jìn)行加熱吹掃，純化模式時(shí)吸附桶是在常溫下進(jìn)行工作，再生時(shí)的工作溫度在 280-300℃之間。

? 產(chǎn)品特點(diǎn)

?流量范圍10-20000Nm3/h	?可配置0.003微米過(guò)濾器
?出口氣體中各雜質(zhì)含量小于10ppt	?全自動(dòng)再生、連續(xù)供氣
?使用壽命長(zhǎng)達(dá)20年以上	?316L SS EP純化罐
?根據(jù)客戶需求定制各項(xiàng)參數(shù)

? 純化能力

適用氣體	XCDA
型號(hào)	EGS22
工藝	ADS
雜質(zhì)	OUTLET
H?O	<100ppt
CO?	<100ppt
TOC(as C7H8)	<10ppt
Acids(as SO?)	<10ppt
Bases(as NH?)	<10ppt
Refractory Compounds(as HMDSO)	<10ppt
PARTICLES	≤1pcs/m3(@0.003μm)
流量范圍	10-20000Nm3h

? XCDA入口品質(zhì)為GBT 13277.1-2008要求的一級(jí)或更高等級(jí)的壓縮空氣

? 備注：表格中僅列出標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)的指標(biāo)和配置，更多特殊要求請(qǐng)與工廠聯(lián)系

? 產(chǎn)品選型

流量范圍Nm3/h	工藝氣體	產(chǎn)品工藝	壓力范圍Bar	參考尺寸mm
流量范圍Nm3/h	工藝氣體	產(chǎn)品工藝	壓力范圍Bar	參考尺寸mm
1-10	XCDA	2 x ADS 自動(dòng)再生	3.5-10	10505151600
30-50	XCDA	2 x ADS 自動(dòng)再生	3.5-10	8509002000
60-150	XCDA	2 x ADS 自動(dòng)再生	3.5-10	135011502100
200-300	XCDA	2 x ADS 自動(dòng)再生	3.5-10	135011502100
400-1000	XCDA	2 x ADS 自動(dòng)再生	3.5-10	180017002450
1500-2000	XCDA	2 x ADS 自動(dòng)再生	3.5-10	269023902700
2500-3500	XCDA	2 x ADS 自動(dòng)再生	3.5-10	265026502650
4000-6000	XCDA	2 x ADS 自動(dòng)再生	3.5-10	265026502750
7000-12000	XCDA	3 x ADS 自動(dòng)再生	3.5-10	290046002750
12000-20000	XCDA	4 x ADS 自動(dòng)再生	3.5-10	290046002750

? 應(yīng)用領(lǐng)域

?大規(guī)模集成電路制造	?光纖預(yù)制棒生產(chǎn)
?半導(dǎo)體分立器件制造	?眾多半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套
?大尺寸硅片、襯底、外延片生產(chǎn)	?超高純氣體、混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)
?LED、激光器制造	?吹掃氣體、載氣及零點(diǎn)氣體純化
?平板顯示器生產(chǎn)	?大學(xué)和研究所等科研機(jī)構(gòu)產(chǎn)品研發(fā)
?高效太陽(yáng)能電池生產(chǎn)	?醫(yī)藥及食品行業(yè)

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