?流量范圍10-300Nm3/h

?可配置0.003微米過濾器

?出口氣體中各雜質(zhì)含量小于1ppb

?全自動催化再生、連續(xù)供氣

?可以從惰性氣體中去除甲烷

?使用壽命長達20年以上

?316L SS EP純化罐

?根據(jù)客戶需求定制各項參數(shù)

適 用 氣 體

CO?

型 號

EGS33

工 藝

CAT+ADS

雜質(zhì)

OUTLET

ppb

H?O

<1

O?

<1

Co

<1

H?

<1

CH?

<1

Total Volatile Acids(as SO2)

<0.005

Total Volatile Bases(as NH3)

<0.5

Condensable Organics(HCS>100 amu,as Decane)

<0.15

Non-Condensable Organics(HCS>58 amu,as Toluene)

<1

Refractonies(as HMDSO)

<0.005

PARTICLES

≤1pcs/m3(@0.003μm)

流量范圍

1-300Nm3h

流量范圍Nm3/h

工藝氣體

產(chǎn)品工藝

壓力范圍Bar

參考尺寸mm

1-10

CO?

2 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

1200*1200*2050

30-70

CO?

2 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

1400*1400*2050

80-300

CO?

2 x CAT + 2 x ADS 自動再生

3.5-10

1850*2200*2050

?大規(guī)模集成電路制造

?光纖預制棒生產(chǎn)

?半導體分立器件制造

?眾多半導體工藝設備配套

?大尺寸硅片、襯底、外延片生產(chǎn)

?超高純氣體、混合氣體和標準氣體生產(chǎn)

?LED、激光器制造

?吹掃氣體、載氣及零點氣體純化

?平板顯示器生產(chǎn)

?大學和研究所等科研機構產(chǎn)品研發(fā)

?高效太陽能電池生產(chǎn)

?醫(yī)藥及食品行業(yè)