?流量范圍10-300Nm3/h

?可配置0.003微米過濾器

?出口氣體中各雜質(zhì)含量小于1ppb

?全自動(dòng)再生、連續(xù)供氣

?可以從惰性氣體中去除甲烷

?使用壽命長達(dá)20年以上

?316L SS EP純化罐

?根據(jù)客戶需求定制各項(xiàng)參數(shù)

適用氣體

Ar、He、Kr、Ne、Xe

型號(hào)

EGS5-H

工藝

ADS+GET

雜質(zhì)

INLET

OUTLET

ppm

ppb

H?O

<3

<1

O?

<1.5

<1

Co

<1

<1

CO?

<1

<1

H?

<1

<1

N?

<4

<1

CH?

<0.5

<1

NMHC

<1

<1

PARTICLES

一

≤1pcs/m3@0.003μm)

流量范圍

—

10-300Nm3h

流量范圍Nm3/h

工藝氣體

產(chǎn)品工藝

壓力范圍Bar

參考尺寸mm

20-50

Ar、He、Kr、Ne、Xe

2 x ADS 自動(dòng)再生+1 x Getter

3.5-10

1700*1200*2200

60-100

Ar、He、Kr、Ne、Xe

2 x ADS 自動(dòng)再生+2 x Getter

3.5-10

1700*1650*2250

150-200

Ar、He、Kr、Ne、Xe

2 x ADS 自動(dòng)再生+2x Getter

3.5-10

1900*1800*2450

250-300

Ar、He、Kr、Ne、Xe

2 x ADS 自動(dòng)再生+3 x Getter

3.5-10

2450*1800*2550

?大規(guī)模集成電路制造

?光纖預(yù)制棒生產(chǎn)

?半導(dǎo)體分立器件制造

?眾多半導(dǎo)體工藝設(shè)備配套

?大尺寸硅片、襯底、外延片生產(chǎn)

?超高純氣體、混合氣體和標(biāo)準(zhǔn)氣體生產(chǎn)

?LED、激光器制造

?吹掃氣體、載氣及零點(diǎn)氣體純化

?平板顯示器生產(chǎn)

?大學(xué)和研究所等科研機(jī)構(gòu)產(chǎn)品研發(fā)

?高效太陽能電池生產(chǎn)

?醫(yī)藥及食品行業(yè)